掃描聲學顯微鏡

是一種多功能、高分辨率的顯微成像儀器。兼具電子顯微術高分辨率和聲學顯微術非破壞性內部成像的特點。 被廣泛的應用在物料檢測（IQC）、失效分析（FA）、質量控制(QC)、質量保證及可靠性(QA/REL)、研發(R&D)等領域，可以檢測材料內部的晶格結構、雜質顆粒、內部裂紋、分層缺陷、空洞、氣泡、空隙等，為司法鑒定提供客觀公正的微觀依據。