輝光放電質譜儀

GDMS是輝光放電質譜法的簡稱。是利用輝光放電源作為離子源與質譜儀器聯接進行質譜測定的一種分析方法。GDMS在多個學科領域均獲得重要應用。在材料科學領域，GDMS成為反應性和非反應性等離子體沉積過程的控制和表征的工具。GDMS已成為無機固體材料，尤其是高純材料雜質成分分析的強有力方法。