
擴(kuò)散泵
擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一,通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級泵,它需要機(jī)械泵作為前級泵。擴(kuò)散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)后產(chǎn)生大量的油蒸氣,油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管從各級噴嘴定向高速噴出。由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強(qiáng)高于蒸氣流中該氣體的分壓強(qiáng),被抽氣體的分子便不斷擴(kuò)散到高速定向蒸氣流中,隨著蒸氣流帶走。
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