前級泵

前級泵是用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。"前級泵"這個名詞在真空機組中見的比較多，主要是幫助主泵羅茨真空泵啟動，羅茨真空泵一般情況下不能在常壓下啟動，如果要啟動電機功率相當大，而且對泵的運行有傷害。而且通過配用不同的前級泵可以運用到不同的環境。